NO    項目                  規格                                                                                備注
1    設備尺寸      700mm(W)×700mm(D)×2093mm(H)                                    含底輪指示燈
2     總重量               150Kg
3    電力需求             220V
4   腔體尺寸        尺寸： 260×260×260mm 材質：不銹鋼                             腔體尺寸可定制
5   真空泵形式    機械泵油泵（外置）
6   處理時間       1-30min                                                                              依產品定
7  可使用氣體     Ar、O2、N2、N2+H2等
8 等離子發生源   高頻電源1000W
9 托盤系統         4層，有效尺寸：220*185（W*D）
10 控制系統       PLC+觸摸屏